Vakuumbeschichtung Pulslaser Sputtering Deposition Equipment mit vier Targets Durchmesser 60mm Durchmesser 25mm

Produktbeschreibung Vakuumbeschichtung-Impulslaserspritzenabsetzunggerä T mit vier Durchmesser 25mm des Zieldurchmessers 60mm  Kurze Einleitung des kundengerechten Spritzenabs

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Produktbeschreibung

Vakuumbeschichtung-Impulslaserspritzenabsetzunggerä T mit vier Durchmesser 25mm des Zieldurchmessers 60mm
 

Kurze Einleitung des kundengerechten Spritzenabsetzungsystems pulsierten Lasers:
Das pulsierter Laser-Absetzungsystem, abgekü Rzt als PLD System, dieses System besteht aus zwei Teilen: Excimerlaser und Vakuumbeschichtungraum; Vakuumbeschichtungraum besteht einer SpritzenUnterdruckkammer, einem drehenden Zielstadium, einem Antioxidierungssubstratflä Cheheizungsstadium, einem Arbeitsgaspfad, einem Gasextraktionsystem, einer InstallationsMaschinentabelle, einem Vakuummessen und aus elektrischem Steuersystem

Gerä Tenaufbau des kundengerechten Spritzenabsetzungsystems pulsierten Lasers:

1. Laser
Gegrü Ndet auf LightMachinerys meistgekaufter IPEX Reihe Industriellgrad Excimerlasern, wird der Laser fü R PLD Anwendungen optimiert; Die IPEX Serie Excimerlaser weisen ausgezeichnete Leistung, Haltbarkeit, Zuverlä Ssigkeit und einfache Integrationsleistung auf, um den Anforderungen der Forscher und der Systemintegrierer auf dem Gebiet der pulsierter Laser-Absetzung (PLD) zu genü Gen
1) Laser-Vorteile
(1) arbeitet Option GasMiser-1000 mit IKONEN-Technologie, um das Gasleben auszudehnen und Betriebskosten zu verringern
(2) ausgezeichnete Punktgleichfö Rmigkeits- und -energiestabilitä T zwischen Impulsen, Breite des kurzen Impulses
(3) bleibt Energie bei allen Wiederholungsfrequenzen konstant
(4) EasyClean hä Lt automatisches Dichtungsmerkmal Gas gefü Llt und verringert Pflegeausfallzeit
(5) in hohem Grade bestä Ndige optische Montierung fü R den ausgezeichneten Trä Ger, der Genauigkeit zeigt
(6) kundengerechtes Trä Ger-Liefersystem, zum der spezifischen PLD Anwendungsnotwendigkeiten zu entsprechen
2) PLD Stallleistung
Konstante Impulsenergie: Die Serien IPEX-740/760 Excimerlaser, die IKONE kombinieren und Technologien GasMiser-1000 haben unvergleichliche dynamische und statische Gaslebensdauer nachdem ein einzelner Gasaustausch. Vom einzelnen zur maximalen Wiederholungsfrequenz, ist die Impulsenergie bei allen Wiederholungsfrequenzen konstant. Diese Methode garantiert, dass die PLD Prozessparameter nicht mit der Ä Nderung der Laser-Arbeitszeit und der Wiederholungsfrequenz ä Ndern
Konstante Impulsstabilitä T: Die hoch entwickelte Energieü Berwachungmethode wird angewendet, um die Impulsenergie einzustellen, die die Einleitungspannung und das Mischgas genau einstellen kann, und eine konstante Ausgabeenergie unter allen Arbeitsbedingungen beibehä Lt (einschließ Lich Einpunktbetrieb). Pulse-to-pulse Stabilitä T ist besser als 1%.
Konstante Zeigestabilitä T: High-stability Kernoptikhalter, stellend, Stabilitä Tsvorgesetzten auf 200μ Rad zeigend bereit und garantieren, dass keine Nacheichung nach optischer Reparatur benö Tigt wird
Konstante Trä Gerqualitä T: Die Trä Gerintensitä Tsverteilung der Serie IPEX-740/760 Lasers ist konzipiert, um einen scharfen Rand zu haben und eine flache Oberseite, hat besonders minimale Ä Nderung innerhalb der Bearbeitungszeit des Laser-Raumes
3) Laser-Bedingungen
Wellenlä Nge (nm)193 (ArF)248 (KrF)308 (XeCl)
Stabilisierte Impuls-Energie (mJ) mit allen WiederholungskinetikSerie IPEX-740150400250
Serie IPEX-760200600500
Maximale Impuls-Energie (mJ) mit niedrigen WiederholungskinetikSerie IPEX-740230450300
Serie IPEX-760250700600
Stabilisierte durchschnittliche Energie (W)IPEX-746154025
IPEX-7446.02012
IPEX-7423.0106.0
IPEX-766103025
IPEX-7645.01810
IPEX-7622.59.05.0
Maximale Wiederholungs-Kinetik (PPSs)IPEX-746100100100
IPEX-744405050
IPEX-742202525
IPEX-766405040
IPEX-764253020
IPEX-762121510
Impuls-Dauer (ns)
(FWHM, nominal)
Serie IPEX-740/76012 - 20
Trä Ger-Abmessungen (mm)
(V× H, nominal)
Serie IPEX-74012 × 26
Serie IPEX-76012 × 28
Trä Ger-Abweichung (mrad)
(V× H, nominal)
Serie IPEX-740/7601 × 3

2. Vakuumbeschichtungraum
1) 1 Set SpritzenUnterdruckkammerbauteile
Die Grö ß E der kugelfö Rmigen Unterdruckkammer ist Ф450mm. Sie wird vom hochwertigen Edelstahl gebildet. Sie wird durch Argonlichtbogen geschweiß T. Die Oberflä Che wird durch einen Systemprozeß Poliert. Die Schnittstelle wird mit einer Metalldichtung oder einem Fluorgummiring gedichtet
2) 1 Set drehende Zielplattformbauteile
(1) kö Nnen vier Ziele auf einmal geladen werden, Zielgrö ß E: (i) Φ 60mm und (ii) Φ 25mm;
(2) kann jedes Ziel Umdrehung verwirklichen, die Umdrehungsgeschwindigkeit ist 5~60 U/Min, kontinuierlich justierbar, esteuert durch den magnetischen Kupplungmotorantriebsmechanismus;
(3) wird der Zielpositions-Umdrehungumstellungmechanismus durch den magnetischen Kupplungmotorantriebsmechanismus gesteuert
(4) schirmt das Zielmaterialschild 4 Ziele ab, und nur ein Zielmaterial wird in den Film auf einmal gespritzt, um Querverunreinigung zwischen den Zielmaterialien zu vermeiden
3) Antioxidansset der substratflä Cheheizungstischmontage 1
(1) Substratflä Chegrö ß E: ″ φ 2 Substratflä Che kann platziert werden;
(2) ist die maximale Temperatur der Substratflä Cheheizung 800º C± 1º C, gesteuert durch Thermoelementregelfeedback, und die Heizung wird vom Antioxidansmaterial hergestellt
(3) kann die Substratflä Che kontinuierlich drehen, die Geschwindigkeit ist 5~60 U/Min, gesteuert durch den magnetischen Kupplungmotorantriebsmechanismus;
(4) ist der Abstand zwischen der Substratflä Che und der Zielplattform von 30 bis 90mm und durch einen Handbuchfaltenbalg-Einstellungsmechanismus auß Erhalb des Raumes gesteuert justierbar;
(5) manuelle Kontrollprobe-Leitblechbauteile: 1 Set;
(6) Beispielhalter: 2;
4) Fenster- und Flanschschnittstellenteile 1 Set
5) Laserstrahlset des scannen-Kontrollsystems 1
Mechanische Plattform des zweidimensionalen Scannens, zwei Sets Bewegungssteuerung oder manuelle Steuerung;
6) Arbeitsgaszeile 2 Kanä Le
7) Pumpanlage des Gases, Ventil, Set der Rohrleitung 1
8) 1 Set des MaschinenMontagerahmens
Qualitä Tsquadratisches Stahlprofil schweiß Te, schnelle aus dem Programm nehmende Coamingoberflä Chenspraybehandlung; Maschinenoberflä Che mit Edelstahlhautdekoration; Vier Fuß Rollen kö Nnen ö Rtlich festgelegt und Bewegliches sein
9) Vakuummessen und elektrisches Set des Kontrollsystems 1
10) Set des Computer-Kontrollsystems 1


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Vacuum Coating Pulse Laser Sputtering Deposition Equipment with Four Targets Diameter 60mm Diameter 25mm
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Gegrü Ndet 2005, ist Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. Eine Firma, die auf die Entwicklung und die Produktion des Labortechnologie-Forschungsgerä Ts sich spezialisiert. Die Produkte sind Misch, betä Tigt, gebrannt, Schnitt, Boden, poliertes, beschichtetes, analytisches Gerä T und in Verbindung gestandene Verbrauchsmaterialien. Produkte enthalten Labordas sinterngerä T und und so weiter beschichten Gerä T. Zurzeit ist es in 25 Lä Nder und Regionen wie die Vereinigten Staaten, das Europa und das Sü Dostasien exportiert worden, und ist durch verschiedene Gerä Te der wissenschaftlichen Forschung gut empfangen gewesen

Wir haben ein fä Lliges Technologieentwicklungteam, die Zahl Technikern sind 33, die Firma haben 150 Leute, mehr, als 500 Quadratmeter von den Bü Rorä Umen, die Fabrikdeckel, die ein Bereich von ungefä Hr 1.500 Quadratmetern im Zhengzhou-Hightech- Zonen-elektronischen Industriepark errichtete. Die Produkte sitzen hauptsä Chlich im Forschungsmarkt und dienen wissenschaftliche Forschung in den Labors der Universitä Ten und Hochschulen, und kö Nnen Produkte entsprechend Ihren Notwendigkeiten auch anpassen

Vacuum Coating Pulse Laser Sputtering Deposition Equipment with Four Targets Diameter 60mm Diameter 25mm
Vacuum Coating Pulse Laser Sputtering Deposition Equipment with Four Targets Diameter 60mm Diameter 25mmVacuum Coating Pulse Laser Sputtering Deposition Equipment with Four Targets Diameter 60mm Diameter 25mm

Q. Sind Sie ein Hersteller oder eine Handelsfirma?

A.   Wir sind Berufslaborinstrumenthersteller, haben ihr eigenes Entwurfsteam und -fabrik, haben fä Llige technische Erfahrung und kö Nnen der Qualitä T der Produkte und des optimalen Preises garantieren

Q. Wie ist Kundendienstsystem des Produktes Ihrer Firma?

A.   Der Produktgarantiezeitraum ist 12 Monate, wir kann Lebenszeitpflege zur Verfü Gung stellen. Wir haben Berufsvorverkä Ufe und after-sales Abteilungen, die auf Sie innerhalb 24 Stunden reagieren kö Nnen, um alle technischen Probleme zu lö Sen

Q. Wie lang ist Ihre Lieferfrist? Wenn ich das Instrument anpassen mö Chte, wie lang nimmt es?

A. 1. Wenn die Waren auf Lager sind, ist es 5-10 Tage. 2. Wir kö Nnen kundenspezifische Dienstleistungen fü R unsere Abnehmer erbringen. Es dauert normalerweise 30-60 Tage abhä Ngig von den Bedingungen des kundenspezifischen Instrumentes

Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lö Sen Sie es?

A.   Wir kö Nnen einen Transformator und einen Stecker entsprechend Ihren lokalen Bedingungen entsprechend dem Netzstecker der verschiedenen Lä Nder angeben

Q. Wie man zahlt?

A. T/T, L/C, D/P, etc., wird es empfohlen, um Alibaba Handels-Garantie zu verwenden

Q. Wie ist das Paket von den Waren? Anlieferungsmethoden?

A. 1. Der hö Lzerne Kasten des Standardexportfumigationzeichens, der 2. Ausdrü Cklich, Luft, Seeverschiffen entsprechend Abnehmerbedingungen verpackt, finden die geeignetste Methode

Mehr Fragen, treten bitte mit Kundendienst in Verbindung
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